Ziel dieses Schwerpunktprogramms ist die Entwicklung und prototypische Erprobung wissenschaftlich fundierter Methoden, um neuartige Werkzeugmaschinen für die Mikrofertigung bauen zu können, die in ihren charakteristischen technologischen und technischen Kenngrößen an die zu fertigenden Mikrowerkstücke angepasst sind. Im Rahmen des Schwerpunktprogramms findet eine Konzentration auf Werkzeugmaschinen für trennende Verfahren unter Nutzung mechanischer (Spanen), thermischer (Laser), elektrothermischer (Funkenerosion) und elektrochemischer Energie statt. Erwartet wird, dass die neuen Maschinen technische, ökonomische und ökologische Vorteile besitzen. So sollen die Maschinen die Herstellung komplexer Werkstücke mit höherer Genauigkeit aus einem großen Werkstoffspektrum ermöglichen und sich zudem durch eine immanent höhere Veränderbarkeit in Struktur und Aufstellort auszeichnen. Ökonomische und ökologische Vorteile sollen durch geringe Kosten und durch einen geringeren Ressourcenverbrauch für Herstellung und Betrieb der Maschine realisiert werden. Erwartet wird insbesondere, dass durch das Unterschreiten einer kritischen Größe der zu entwickelnden Fertigungsmaschinen die Befähigung zu einer sprungartigen Verbesserung der genannten Eigenschaften erreicht wird.