Ausstattung

  • Glove-Box zur Herstellung organischer Halbleiterbauelemente
  • Hochvakuum-Aufdampfanlage
  • Sputteranlage
  • Halbleiter-Messplatz für Wafer bis 200mm Durchmesser
  • Parameter-Messplatz zur Charakterisierung elektronischer Bauelelmente
  • AFM (Atomic Force Microscope)
  • Schichtdickenmessgerät
  • Schaltungssimulatoren PSpice und Saber zur Entwicklung, Modellierung und Simulation analoger Schaltungen.
  • Device-Simulator Medici
  • übliche Ausstattung mit PCs, Workstations und Labormessgeräten
HSU

Letzte Änderung: 1. November 2017