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Nanometrologie

Im Bereich der Nanometrologie wird eine Nanometer-Koordinaten-Messmaschine entwickelt. Neben der Entwicklung der Maschine an sich stehen hierbei Grundlagenuntersuchungen zu neuen Mess- und Kalibrierstrategien sowie der Anwendbarkeit von Prinzipien der Koordinatenmesstechnik im Bereich der Nanotechnologie im Vordergrund. Diese Forschung wird von der DFG mit einer Sachbeihilfe gefördert.

Eng damit verknüpft ist die Forschung im Bereich Oberflächenrauheit. Hier werden speziell für Streulichtmessverfahren Methoden entwickelt, um aus Rohmessdaten die tatsächliche Rauhigkeit von Oberflächen ermitteln zu können.

Ein sehr gutes Open-Source-Programm zur Analyse von Messdaten in der Rastersondenmikroskopie  ist Gwyddion Externer Link: Gwyddion (http://gwyddion.net) Link wird in einem neuen Fenster geöffnet, dessen Entwicklung vom Czech Metrology Institute (CMI) unterstützt wird.

Web-Site der Professur zur Nanometrologie Externer Link: Web-Site der Professur zur Nanometrologie (http://www.nanometrologie.de) Link wird in einem neuen Fenster geöffnet


 
 
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